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3S-B50高純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平,它可以用作半導體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見,本機具有足夠的安全措施。
優(yōu)勢:
●超高純臭氧制備●臭氧濃度高于99.5%●液化池容積限制設(shè)計●安全閥設(shè)計●急停設(shè)計
產(chǎn)品特點● 全金屬密封臭氧液化池● 無硅膠吸附劑● 閉循環(huán)制冷機自動控溫● 提純速度快,準備時間只需30分鐘;提純1小時,能產(chǎn)出約4標升高純臭氧氣體,可滿足大部分用戶十小時以上的生長需求● 設(shè)計緊湊● 操作簡便,即起即停● 高純臭氧應(yīng)用領(lǐng)域:化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化等。
臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性
日本進口高純臭氧系統(tǒng)
將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后,生成99.99%濃度臭氧。可以持續(xù)供給99.99%濃度臭氧。
工作原理
臭氧應(yīng)用
與科研用高濃度高純度臭氧發(fā)生器(液化型)相關(guān)的實驗現(xiàn)場
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